發(fā)布時(shí)間：2023-05-13 | 游覽：7224
| 產(chǎn)品名稱(chēng) | 氣體純度 | 氣瓶規(guī)格 | 閥門(mén) | 充裝量（Kg） | 保質(zhì)期 |
| F2/N2 | （20%：80%） | GB50L | CGA679 | 1.55 | 1年 |
| GB50L*12 | CGA679 | 18.6 | 1年 | ||
| 備注：可按客戶要求定制包裝規(guī)格 | |||||
氟/氮 (F2/N2) 混合氣可對(duì)干法蝕刻過(guò)程中使用的工具進(jìn)行高級(jí)清潔。
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