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特氣輸送面板是氣源部分非常重要的控制單元。一般工藝氣體從鋼瓶出來(lái)，經(jīng)過(guò)高壓控制盤(pán)面時(shí)，都實(shí)現(xiàn)了一次調(diào)壓、過(guò)濾、流量穩(wěn)定、吹掃、抽真空、壓力偵測(cè)等功能。不同的氣體和工藝需求，可以根據(jù)實(shí)際情況定制具體功能。現(xiàn)階段，越來(lái)越多的高校實(shí)驗(yàn)室引入了ICP、PVD、PEVCD等設(shè)備進(jìn)行芯片鍍膜、刻蝕方面的研究，這些工藝氣體多是硅烷、乙烯、溴化氫等毒腐、易燃易爆性氣體，對(duì)于氣源的控制要求非常高，也給供氣面板提出了很多要求。

設(shè)計(jì)參考：

自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門(mén)，并應(yīng)為常閉氣動(dòng)閥門(mén)，位置應(yīng)靠近氣瓶；

氣瓶壓力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面 板應(yīng)設(shè)有過(guò)流開(kāi)關(guān)；

自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃、輔助抽真空裝置，真空管路應(yīng)設(shè)止回閥；

氣體面板應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口。

可燃性特氣柜設(shè)計(jì)參考：

硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次/H，且氣柜的負(fù)壓應(yīng)連續(xù)監(jiān)控；自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外、紅外火焰探測(cè)器；可燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置誰(shuí)噴淋系統(tǒng)；自燃性特種氣體的氣柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。

輸送控制面板的設(shè)計(jì)對(duì)于整個(gè)供氣系統(tǒng)的便捷性、生命安全都起到非常重要的控制作用，在設(shè)計(jì)初期，業(yè)主需要將工藝、要求等提供給設(shè)計(jì)院作為設(shè)計(jì)依據(jù)，同時(shí)，在建設(shè)周期，有必要參考相應(yīng)的規(guī)范將要求落實(shí)到施工當(dāng)中去。

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